step-and-repeat projection lithography
- step-and-repeat projection lithography
- žingsninė projekcinė litografija
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. step-and-repeat projection lithography
vok. schrittweise Projektionslithografie, f
rus. последовательная шаговая проекционная литография, f; проекционная литография с последовательным шаговым экспонированием, f
pranc. lithographie de projection pas à pas, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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